Wolfraam(VI)fluoride: verschil tussen versies
Verwijderde inhoud Toegevoegde inhoud
k →Toepassingen bij chemical vapor deposition: herstel parserfout in math-code met AWB |
kGeen bewerkingssamenvatting |
||
Regel 74:
Het is ook mogelijk het gebruik van elementair fluor te vermijden en uit te gaan van de reactie van [[waterstoffluoride]] met ofwel het metaal ofwel een [[halogenide]]:<ref name="synthCl">[http://www.freepatentsonline.com/3995011.html Patent]</ref>
:<math>\mathrm{W\ +\ 3\ Cl_2\ +\ 6\ HF\ \longrightarrow\ WF_6\ +\ 6\ HCl}</math>
:<math>\mathrm{WCl_2\ +\ 2\ Cl_2\ +\ 6\ HF\ \longrightarrow\ WF_6\ +\ 6\ HCl}</math>
== Toepassingen bij chemical vapor deposition ==
Regel 83:
Wolfraam kan ook worden opgebracht op een chip van silicium of ander halfgeleider materiaal via chemical vapor deposition.<ref name="react"><!--[http://www.mne.umd.edu/grad/courses/old_courses_stuff_saved/659s_mats_&_proc_for_microelectronics/659s_spring_1998/enma659S_spr98_final_project_results/wcvd/sih4.html]--> James Clark School of Engineering</ref> Het proces is temperatuurafhankelijk. Onder de 400°C vindt de ontleding naar [[siliciumtetrafluoride]] plaats:
:<math>\mathrm{2\ WF_6\ +\ 3\ Si\ \longrightarrow\ 2\ W\ +\ 3\ SiF_4}</math>
Boven de 400°C vindt de ontleding naar [[siliciumdifluoride]] plaats:
:<math>\mathrm{WF_6\ +\ 3\ Si_2\ \longrightarrow\ W\ +\ 3\ SiF_2}</math>
Het silicium reduceert het wolfraam van een oxidatietoestand van +VI naar de nulwaardige toestand van het element.
Regel 94:
In aanraking met water vormt wolfraam(VI)fluoride [[waterstoffluoride|HF]], dat de [[huid]] kan binnendringen en schade kan veroorzaken aan de onderhuidse weefsels en vooral het [[botweefsel]]. Daarnaast wordt ook [[wolfraamzuur]] gevormd:
:<math>\mathrm{WF_6\ +\ 4\ H_2O\ \longrightarrow\ H_2WO_4\ +\ 6\ HF}</math>
Inademing kan de ademhalingswegen aantasten en vergiftigingsverschijnselen oproepen. WF<sub>6</sub> werkt als een [[traangas]] dat de ogen irriteert. Blootstelling eraan brandt de ogen, de huid en de slijmvliezen.<ref name="msds">[https://www.mathesongas.com/msds/index.aspx Matheson Gas]</ref>
| |||