Wolfraam(VI)fluoride: verschil tussen versies
Verwijderde inhoud Toegevoegde inhoud
k r2.7.1) (Robot: toegevoegd: fa:تنگستن هگزافلوئورید |
kGeen bewerkingssamenvatting |
||
Regel 65:
}}
'''Wolfraam(VI)fluoride''' of '''wolfraamhexafluoride''' is een kleurloos gas met als [[brutoformule]] WF<sub>6</sub>. Het is niet brandbaar, maar het is erg [[corrosie]]f en zeer giftig. Het is het zwaarste gas, dat wil zeggen het gas met de hoogste dichtheid bij een druk van 1 atmosfeer en kamertemperatuur (25
Het gas wordt het meest gebruikt in de vervaardiging van [[Halfgeleider (elektronica)|halfgeleiderschakelingen]] voor het opbrengen van wolfraamcontacten via de dampfase.<ref name="chemvap">Kirss, Rein U., Lamartine Meda. "Chemical Vapor Deposition of Tungsten Oxide." ''Applied Organometallic Chemistry'' 12 (1998): 155–160.</ref>
|