Dichloorsilaan
chemische verbinding
Dichlorosilaan (H2SiCl2), meestal afgekort tot DCS, is een kleurloze gasvormige anorganische siliciumverbinding met een karakteristieke geur. De stof heeft zeer ruime explosiegrenzen: 4,1 tot 99%.
| Dichloorsilaan | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Structuurformule en molecuulmodel | ||||||
| ||||||
Structuurformule van dichloorsilaan
| ||||||
| ||||||
Molecuulmodel van dichloorsilaan
| ||||||
| Algemeen | ||||||
| Molecuulformule | H2Cl2Si | |||||
| IUPAC-naam | dichloorsilaan | |||||
| Andere namen | DCS | |||||
| Molmassa | 101,01 g/mol | |||||
| SMILES | ClSiCl
| |||||
| CAS-nummer | 4109-96-0 | |||||
| PubChem | 61330 | |||||
| Wikidata | Q418556 | |||||
| Waarschuwingen en veiligheidsmaatregelen | ||||||
| ||||||
| H-zinnen | H330 - H220 - H314 - H280 | |||||
| EUH-zinnen | EUH071 | |||||
| P-zinnen | P260 - P280 - P210 - P304+P340 - P303+P361+P353 - P305+P351+P338 - P315 - P377 - P381 - P405 - P403 | |||||
| VN-nummer | 2189 | |||||
| Fysische eigenschappen | ||||||
| Aggregatietoestand | gasvormig | |||||
| Kleur | kleurloos | |||||
| Dichtheid | (bij 8°C) 1,261 g/cm³ | |||||
| Smeltpunt | −122 °C | |||||
| Kookpunt | 8 °C | |||||
| Vlampunt | −28 °C | |||||
| Dampdruk | (bij 20°C) 163,6 Pa | |||||
| Tenzij anders vermeld zijn standaardomstandigheden gebruikt (298,15 K of 25 °C, 1 bar). | ||||||
| ||||||
Dichloorsilaan wordt voornamelijk gebruikt in de productie van halfgeleiders op basis van siliciumnitride. Om dit te bereiken wordt dichloorsilaan gemengd met ammoniak (NH3) in een LPCVD kamer waarin vervolgens het siliciumnitride als een film gevormd wordt.
Een hoge verhouding DCS:NH3 (vaak 16:1), resulteert in nitridefilms met een lagere mechanische spanning.
Externe links bewerken
- Safety data for dichlorosilane from the Chemistry Department at Oxford University.
- ICSC 0442