Dichloorsilaan

chemische verbinding

Dichlorosilaan (H2SiCl2), meestal afgekort tot DCS, is een kleurloze gasvormige anorganische siliciumverbinding met een karakteristieke geur. De stof heeft zeer ruime explosiegrenzen: 4,1 tot 99%.

Dichloorsilaan
Structuurformule en molecuulmodel
Structuurformule van dichloorsilaan
Molecuulmodel van dichloorsilaan
Algemeen
Molecuulformule H2Cl2Si
IUPAC-naam dichloorsilaan
Andere namen DCS
Molmassa 101,01 g/mol
SMILES
ClSiCl
CAS-nummer 4109-96-0
PubChem 61330
Waarschuwingen en veiligheidsmaatregelen
OntvlambaarDrukhouderCorrosiefToxisch
Gevaar
H-zinnen H330 - H220 - H314 - H280
EUH-zinnen EUH071
P-zinnen P260 - P280 - P210 - P304+P340 - P303+P361+P353 - P305+P351+P338 - P315 - P377 - P381 - P405 - P403
VN-nummer 2189
Fysische eigenschappen
Aggregatietoestand gasvormig
Kleur kleurloos
Dichtheid (bij 8°C) 1,261 g/cm³
Smeltpunt −122 °C
Kookpunt 8 °C
Vlampunt −28 °C
Dampdruk (bij 20°C) 163,6 Pa
Tenzij anders vermeld zijn standaardomstandigheden gebruikt (298,15 K of 25 °C, 1 bar).
Portaal  Portaalicoon   Scheikunde

Dichloorsilaan wordt voornamelijk gebruikt in de productie van halfgeleiders op basis van siliciumnitride. Om dit te bereiken wordt dichloorsilaan gemengd met ammoniak (NH3) in een LPCVD kamer waarin vervolgens het siliciumnitride als een film gevormd wordt.

Een hoge verhouding DCS:NH3 (vaak 16:1), resulteert in nitridefilms met een lagere mechanische spanning.

Externe linksBewerken