'''Wolfraamhexafluoride''' ofwelof '''Wolfraamwolfraam(VI)fluoride''' is een kleurloos gas. Het is niet brandbaar, maar het is erg [[corrosie]]f en zeer giftig. Het is het zwaarste gas, dat wil zeggen het gas met de hoogste dichtheid bij een druk van 1 atmosfeer en kamertemperatuur (25 °C). ([[Uraniumhexafluoride]] is zwaarder maar die stof is een vluchtige vaste stof bij deze omstandigheden). Het molecuul is octaëdrisch met een [[puntgroep]] van O<sub>h</sub>.
Het gas wordt het meest gebruikt in de vervaardiging van [[halfgeleider]]schakelingen voor het opbrengen van wolfraamcontacten via de dampfase.<ref name="chemvap">Kirss, Rein U., Lamartine Meda. "Chemical Vapor Deposition of Tungsten Oxide." ''Applied Organometallic Chemistry'' 12 (1998): 155–160.</ref>
==Industriële bereiding==
'''Wolfraamhexafluoride''' van een voldoend hoge zuiverheid om gebruikt te worden in de [[halfgeleider]]vervaardiging wordt gemaakt door de reactie van [[difluor|fluor]]gas met [[wolfraam]]metaal. Het metaal wordt in een verhitte reactor gebracht onder enigszins verhoogde druk van 1.2 tot 2.0 psi (ongeveer 8,3 tot 14,8 k[[Pascal (eenheid)|Pa]]).<ref name="synth1">[http://www.patentstorm.us/patents/6544889.html Patent Storm]</ref> Het is ook mogelijk het gebruik van elementair fluor te vermijden en uit te gaan van de reactie van [[waterstoffluoride]] met ofwel het metaal ofwel een lager [[halogenide]]<ref name="synthCl">[http://www.freepatentsonline.com/3995011.html Patent]</ref>
