'''Wolfraamhexafluoride''' van een voldoend hoge zuiverheid om gebruikt te worden in de halfgeleidervervaardiging wordt gemaakt door de reactie ofvan [[difluor|fluor]]gas met [[wolfraam]]metaal. Het metaal wordt in een verhitte reactor gebracht onder enigszins verhoogde druk van 1.2 totot 2.0 psi (ongeveer 8,3 tot 14,8 k[[Pascal (eenheid)|Pa]]).<ref name="synth1">[http://www.patentstorm.us/patents/6544889.html Patent Storm]</ref> Het is ook mogelijk het gebruik van elementair fluor te vermijden en uit te gaan van de reactie van [[waterstoffluoride]] met ofwel het metaal ofwel een lager [[halogenide]]<ref name="synthCl">[http://www.freepatentsonline.com/3995011.html Patent]</ref>
