Wolfraam(VI)fluoride: verschil tussen versies
Verwijderde inhoud Toegevoegde inhoud
Geen bewerkingssamenvatting |
k sp |
||
Regel 64:
'''Wolfraamhexafluoride''' ofwel '''Wolfraam(VI)fluoride''' is een kleurloos gas.
Het gas wordt het meest gebruikt in de vervaardiging van halfgeleiderschakelingen voor het opbrengen van wolfraamcontacten via de dampfase.<ref name="chemvap">Kirss, Rein U., Lamartine Meda. "Chemical Vapor Deposition of Tungsten Oxide." ''Applied Organometallic Chemistry'' 12 (1998): 155–160.</ref>
|